由我局组织推荐申报，上海计量科学研究院牵头承担的国家重大科学仪器设备开发专项“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”获得中央财政专项经费支持。该项目将通过攻克微联动多轴驱动和多测头集成、基于原子沉积光栅纳米量值溯源、双角度倾斜式场扫描等关键技术，研制出具有自主知识产权、功能健全、质量稳定可靠的跨尺度微纳米测量仪，并达到形成年产50台生产能力，累计销售收入5000万元的目标，为我国微纳米制造检测行业发展提供技术支撑。

该项目总经费7681万元，其中中央财政专项经费投入3731万元，项目截止日期为2018年10月。